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工業(yè)硅及硅鐵在高溫熔煉的過程中，隨著廢氣逸出的粉塵為硅灰或硅粉，其主要成分是活性SiO2（含量約占90%，其中所含游離態(tài)SiO2約占10%）。顆粒非常小，是水泥粒徑的百分之一，容量小、比表面積大，固有微硅粉之稱，它能直接通過呼吸進入人體肺泡，對人身體